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1.稱重法：是一種生產(chǎn)和實驗中常用的清潔度檢測方法。其原理是使用選定的清洗液在一定條件下對樣品進行清洗。將清洗后的液體通過一定孔徑的濾膜進行過濾（常用的濾膜孔徑有5μm，10μm，20μm，40μm等）。使得顆粒物收集在濾膜表面。對過濾前后的濾膜烘干秤重，兩次質(zhì)量差即為雜質(zhì)質(zhì)量。
2.顆粒尺寸數(shù)量分析法：是一種清潔度測試的新方法。其基本原理是根據(jù)被檢測的表面與污染物顆粒具有不同的光吸收或散射率其雜質(zhì)收集方法與重量法相同，待濾膜干燥后，使用顯微鏡(設(shè)備是具有拍攝功能的圖像識別和分析設(shè)備)在光照射下檢測，按顆粒尺寸和數(shù)量統(tǒng)計污物顆粒，即可得到所測物體零件的固體顆粒污染物結(jié)果。這是一種適合精密清洗定量化的清潔度檢測方法，尤其適用于檢測微小顆粒和帶色雜質(zhì)顆粒。
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